微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
2期
16-20
,共5页
大角度离子注入机%集散式控制%双端口巡检控制器%子控制器%软件结构
大角度離子註入機%集散式控製%雙耑口巡檢控製器%子控製器%軟件結構
대각도리자주입궤%집산식공제%쌍단구순검공제기%자공제기%연건결구
介绍了大角度离子注入机控制系统的功能,重点介绍了系统的总体设计和控制模块的设计、主控计算机与子控制器之间的通讯以及控制系统的软件结构设计等.经实验证明,该控制系统稳定、可靠.
介紹瞭大角度離子註入機控製繫統的功能,重點介紹瞭繫統的總體設計和控製模塊的設計、主控計算機與子控製器之間的通訊以及控製繫統的軟件結構設計等.經實驗證明,該控製繫統穩定、可靠.
개소료대각도리자주입궤공제계통적공능,중점개소료계통적총체설계화공제모괴적설계、주공계산궤여자공제기지간적통신이급공제계통적연건결구설계등.경실험증명,해공제계통은정、가고.
