仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2006年
2期
209-214
,共6页
超级千分表%纳米测量%计量光栅%纳米传感器
超級韆分錶%納米測量%計量光柵%納米傳感器
초급천분표%납미측량%계량광책%납미전감기
讨论了超级千分表的工作原理和优点,描述了超级千分表关键参数及其检测方法.其中,由于百万分表(纳米表,纳米测长仪)的技术难度最大,所以文中侧重讨论它的检测.大量实测数据表明:百万分表的测量重复性(标准偏差)在0.6～1.2nm范围内;在未作任何误差修正的条件下,示值误差=±(30～60)nm;以光波波长作为基准进行误差修正后,示值误差可达±(10～20)nm,细分误差≤±5nm.
討論瞭超級韆分錶的工作原理和優點,描述瞭超級韆分錶關鍵參數及其檢測方法.其中,由于百萬分錶(納米錶,納米測長儀)的技術難度最大,所以文中側重討論它的檢測.大量實測數據錶明:百萬分錶的測量重複性(標準偏差)在0.6～1.2nm範圍內;在未作任何誤差脩正的條件下,示值誤差=±(30～60)nm;以光波波長作為基準進行誤差脩正後,示值誤差可達±(10～20)nm,細分誤差≤±5nm.
토론료초급천분표적공작원리화우점,묘술료초급천분표관건삼수급기검측방법.기중,유우백만분표(납미표,납미측장의)적기술난도최대,소이문중측중토론타적검측.대량실측수거표명:백만분표적측량중복성(표준편차)재0.6～1.2nm범위내;재미작임하오차수정적조건하,시치오차=±(30～60)nm;이광파파장작위기준진행오차수정후,시치오차가체±(10～20)nm,세분오차≤±5nm.
