激光与光电子学进展
激光與光電子學進展
격광여광전자학진전
LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS
2006年
6期
64-67
,共4页
激光加工%等离子体%特征时间%平均温度%光学研究
激光加工%等離子體%特徵時間%平均溫度%光學研究
격광가공%등리자체%특정시간%평균온도%광학연구
利用 Q-开关 Nd:YAG激光器产生的 1.06μm、140ns的脉冲激光聚焦在空气中的石英靶上,采集激光诱导的石英等离子体发射光谱,在室温大气压下利用高速摄影机对激光加工过程中伴随产生的等离子体的动态过程进行监测研究;在局部热力学平衡条件(LET)近似下,估算了等离子体电子平均温度随时间的变化规律;提出室温下等离子体加工石英微通道过程中等离子体性质发生变化的特征时间为 1000μs和 400μs;影响等离子体加工质量的关键因素可能包括通道内部气压值.
利用 Q-開關 Nd:YAG激光器產生的 1.06μm、140ns的脈遲激光聚焦在空氣中的石英靶上,採集激光誘導的石英等離子體髮射光譜,在室溫大氣壓下利用高速攝影機對激光加工過程中伴隨產生的等離子體的動態過程進行鑑測研究;在跼部熱力學平衡條件(LET)近似下,估算瞭等離子體電子平均溫度隨時間的變化規律;提齣室溫下等離子體加工石英微通道過程中等離子體性質髮生變化的特徵時間為 1000μs和 400μs;影響等離子體加工質量的關鍵因素可能包括通道內部氣壓值.
이용 Q-개관 Nd:YAG격광기산생적 1.06μm、140ns적맥충격광취초재공기중적석영파상,채집격광유도적석영등리자체발사광보,재실온대기압하이용고속섭영궤대격광가공과정중반수산생적등리자체적동태과정진행감측연구;재국부열역학평형조건(LET)근사하,고산료등리자체전자평균온도수시간적변화규률;제출실온하등리자체가공석영미통도과정중등리자체성질발생변화적특정시간위 1000μs화 400μs;영향등리자체가공질량적관건인소가능포괄통도내부기압치.
