微计算机信息
微計算機信息
미계산궤신식
CONTROL & AUTOMATION
2007年
10期
178-179,192
,共3页
单片机%多波形旋转系统%交流伺服电机
單片機%多波形鏇轉繫統%交流伺服電機
단편궤%다파형선전계통%교류사복전궤
为探索大直径单晶体生长系统的最佳旋转波形和控制参数,研制开发了晶体坩埚多波形旋转控制系统.主要部件采用嵌入式单片机、交流伺服电机及D/A转换器等.提出了一种用D/A转换器实现交流伺服电机高精度调速的优化算法,提高了控制精度,简化了编程方案.试验证明该系统性能可靠,工作稳定.现已正式投入使用.
為探索大直徑單晶體生長繫統的最佳鏇轉波形和控製參數,研製開髮瞭晶體坩堝多波形鏇轉控製繫統.主要部件採用嵌入式單片機、交流伺服電機及D/A轉換器等.提齣瞭一種用D/A轉換器實現交流伺服電機高精度調速的優化算法,提高瞭控製精度,簡化瞭編程方案.試驗證明該繫統性能可靠,工作穩定.現已正式投入使用.
위탐색대직경단정체생장계통적최가선전파형화공제삼수,연제개발료정체감과다파형선전공제계통.주요부건채용감입식단편궤、교류사복전궤급D/A전환기등.제출료일충용D/A전환기실현교류사복전궤고정도조속적우화산법,제고료공제정도,간화료편정방안.시험증명해계통성능가고,공작은정.현이정식투입사용.
