功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2008年
1期
175-178
,共4页
贺龙兵%赵超%周丰%宋凤麒%韩民%王广厚
賀龍兵%趙超%週豐%宋鳳麒%韓民%王廣厚
하룡병%조초%주봉%송봉기%한민%왕엄후
团簇束流沉积%纳米颗粒薄膜%颗粒尺寸%数密度调控
糰簇束流沉積%納米顆粒薄膜%顆粒呎吋%數密度調控
단족속류침적%납미과립박막%과립척촌%수밀도조공
采用基于磁控等离子体团簇束流源的低能团簇束流沉积制备不同形态的Pb纳米颗粒薄膜.通过透射电子显微镜TEM对颗粒的尺寸、数密度进行表征分析,建立磁控等离子体团簇源及低能团簇束流沉积过程的可调参数--溅射气流、缓冲气流、溅射电压电流、沉积时间等与颗粒尺寸、数密度的对应关系,并通过对参数的调整优化获得Pb纳米颗粒薄膜中颗粒尺寸和数密度的独立调控.
採用基于磁控等離子體糰簇束流源的低能糰簇束流沉積製備不同形態的Pb納米顆粒薄膜.通過透射電子顯微鏡TEM對顆粒的呎吋、數密度進行錶徵分析,建立磁控等離子體糰簇源及低能糰簇束流沉積過程的可調參數--濺射氣流、緩遲氣流、濺射電壓電流、沉積時間等與顆粒呎吋、數密度的對應關繫,併通過對參數的調整優化穫得Pb納米顆粒薄膜中顆粒呎吋和數密度的獨立調控.
채용기우자공등리자체단족속류원적저능단족속류침적제비불동형태적Pb납미과립박막.통과투사전자현미경TEM대과립적척촌、수밀도진행표정분석,건립자공등리자체단족원급저능단족속류침적과정적가조삼수--천사기류、완충기류、천사전압전류、침적시간등여과립척촌、수밀도적대응관계,병통과대삼수적조정우화획득Pb납미과립박막중과립척촌화수밀도적독립조공.
