微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2009年
10期
604-609
,共6页
郑湃%吴丰顺%刘辉%周龙早%吴懿平
鄭湃%吳豐順%劉輝%週龍早%吳懿平
정배%오봉순%류휘%주룡조%오의평
柔性衬底%有机聚合物%不锈钢%氧化铝%微传感器
柔性襯底%有機聚閤物%不鏽鋼%氧化鋁%微傳感器
유성츤저%유궤취합물%불수강%양화려%미전감기
概述了MEMS器件衬底材料的功用及分类(刚性材料和柔性材料).根据其使用柔性衬底材料的不同,将其分为有机聚合物材料(聚酰亚胺、硅橡胶、聚对苯二甲酸乙二醇酯和聚对二甲苯、硅树脂)和金属及陶瓷材料(不锈钢和氧化铝).重点阐述了材料的特性,并结合国内外专家学者的研究,例举了其在MEMS传感器方面的应用.分析了它们的特点及优越性.指出在MEMS器件衬底材料领域,对柔性材料和新型Si基材料的研究与开发是未来研究工作的重点和热点.
概述瞭MEMS器件襯底材料的功用及分類(剛性材料和柔性材料).根據其使用柔性襯底材料的不同,將其分為有機聚閤物材料(聚酰亞胺、硅橡膠、聚對苯二甲痠乙二醇酯和聚對二甲苯、硅樹脂)和金屬及陶瓷材料(不鏽鋼和氧化鋁).重點闡述瞭材料的特性,併結閤國內外專傢學者的研究,例舉瞭其在MEMS傳感器方麵的應用.分析瞭它們的特點及優越性.指齣在MEMS器件襯底材料領域,對柔性材料和新型Si基材料的研究與開髮是未來研究工作的重點和熱點.
개술료MEMS기건츤저재료적공용급분류(강성재료화유성재료).근거기사용유성츤저재료적불동,장기분위유궤취합물재료(취선아알、규상효、취대분이갑산을이순지화취대이갑분、규수지)화금속급도자재료(불수강화양화려).중점천술료재료적특성,병결합국내외전가학자적연구,례거료기재MEMS전감기방면적응용.분석료타문적특점급우월성.지출재MEMS기건츤저재료영역,대유성재료화신형Si기재료적연구여개발시미래연구공작적중점화열점.
