光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2011年
4期
573-577
,共5页
杨开勇%魏志猛%龙兴武%刘贱平
楊開勇%魏誌猛%龍興武%劉賤平
양개용%위지맹%룡흥무%류천평
表面粗糙度%表面散射%体散射%石英基片%激光陀螺
錶麵粗糙度%錶麵散射%體散射%石英基片%激光陀螺
표면조조도%표면산사%체산사%석영기편%격광타라
研究了散射测量在激光陀螺用石英基片表面检测中的应用.比较发现,收集物镜比积分球更有利于体散射的消除,更适用于直接检测超光滑石英基片表面的散射测试系统.用ZEMAX设计了散射光收集物镜,使其数值孔径达到了0.4,并完全消除了轴上距离大于1.5 mm的散射点的体散射;为了消除光电倍增管输出本身随时间长漂的问题,设计了特定的散射光收集系统的结构,将散射光和反射光分时打在同一个光电倍增管上.分析发现,这种设置能有效消除光电倍增管输出随时间趋势性漂移的问题,增强了系统长时间的稳定性,有效保障了其工程实用性.
研究瞭散射測量在激光陀螺用石英基片錶麵檢測中的應用.比較髮現,收集物鏡比積分毬更有利于體散射的消除,更適用于直接檢測超光滑石英基片錶麵的散射測試繫統.用ZEMAX設計瞭散射光收集物鏡,使其數值孔徑達到瞭0.4,併完全消除瞭軸上距離大于1.5 mm的散射點的體散射;為瞭消除光電倍增管輸齣本身隨時間長漂的問題,設計瞭特定的散射光收集繫統的結構,將散射光和反射光分時打在同一箇光電倍增管上.分析髮現,這種設置能有效消除光電倍增管輸齣隨時間趨勢性漂移的問題,增彊瞭繫統長時間的穩定性,有效保障瞭其工程實用性.
연구료산사측량재격광타라용석영기편표면검측중적응용.비교발현,수집물경비적분구경유리우체산사적소제,경괄용우직접검측초광활석영기편표면적산사측시계통.용ZEMAX설계료산사광수집물경,사기수치공경체도료0.4,병완전소제료축상거리대우1.5 mm적산사점적체산사;위료소제광전배증관수출본신수시간장표적문제,설계료특정적산사광수집계통적결구,장산사광화반사광분시타재동일개광전배증관상.분석발현,저충설치능유효소제광전배증관수출수시간추세성표이적문제,증강료계통장시간적은정성,유효보장료기공정실용성.
