太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2011年
4期
486-489
,共4页
刘汉法%张化福%袁玉珍%袁长坤%类成新
劉漢法%張化福%袁玉珍%袁長坤%類成新
류한법%장화복%원옥진%원장곤%류성신
ZnO:Ti薄膜%透明导电薄膜%磁控溅射%光电性能
ZnO:Ti薄膜%透明導電薄膜%磁控濺射%光電性能
ZnO:Ti박막%투명도전박막%자공천사%광전성능
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底和硅片衬底上制备出掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜.SEM 和XRD研究结果表明,两种衬底上的ZnO∶Ti薄膜均为为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.讨论了衬底对掺钛氧化锌透明导电薄膜光学、电学性能的影响.当玻璃衬底薄膜厚度为568nm时,薄膜电阻率达到最小值1.64×10-4Ω·cm,硅衬底上薄膜厚度为641nm时有最小电阻率2.69×10-4Ω·cm.两种衬底所制备薄膜都具有良好的附着性能,玻璃衬底薄膜样品在波长为500～800nm的可见光中平均透过率都超过了91%,硅衬底上薄膜样品的折射率约为2.05,ZnO∶Ti薄膜可以用作薄膜太阳电池的透明电极.
利用直流磁控濺射法在室溫水冷玻璃襯底和硅片襯底上製備齣摻鈦氧化鋅(ZnO∶Ti)透明導電薄膜.SEM 和XRD研究結果錶明,兩種襯底上的ZnO∶Ti薄膜均為為六角纖鋅礦結構的多晶薄膜,且具有c軸擇優取嚮.討論瞭襯底對摻鈦氧化鋅透明導電薄膜光學、電學性能的影響.噹玻璃襯底薄膜厚度為568nm時,薄膜電阻率達到最小值1.64×10-4Ω·cm,硅襯底上薄膜厚度為641nm時有最小電阻率2.69×10-4Ω·cm.兩種襯底所製備薄膜都具有良好的附著性能,玻璃襯底薄膜樣品在波長為500～800nm的可見光中平均透過率都超過瞭91%,硅襯底上薄膜樣品的摺射率約為2.05,ZnO∶Ti薄膜可以用作薄膜太暘電池的透明電極.
이용직류자공천사법재실온수랭파리츤저화규편츤저상제비출참태양화자(ZnO∶Ti)투명도전박막.SEM 화XRD연구결과표명,량충츤저상적ZnO∶Ti박막균위위륙각섬자광결구적다정박막,차구유c축택우취향.토론료츤저대참태양화자투명도전박막광학、전학성능적영향.당파리츤저박막후도위568nm시,박막전조솔체도최소치1.64×10-4Ω·cm,규츤저상박막후도위641nm시유최소전조솔2.69×10-4Ω·cm.량충츤저소제비박막도구유량호적부착성능,파리츤저박막양품재파장위500～800nm적가견광중평균투과솔도초과료91%,규츤저상박막양품적절사솔약위2.05,ZnO∶Ti박막가이용작박막태양전지적투명전겁.
