光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2011年
8期
1816-1823
,共8页
李四华%徐静%龙亮%钟少龙%吴亚明
李四華%徐靜%龍亮%鐘少龍%吳亞明
리사화%서정%룡량%종소룡%오아명
微光机电系统%多台阶平板%平行平板%静电驱动%微镜阵列%高占空比
微光機電繫統%多檯階平闆%平行平闆%靜電驅動%微鏡陣列%高佔空比
미광궤전계통%다태계평판%평행평판%정전구동%미경진렬%고점공비
为了在限定驱动电压下获得大镜面尺寸、大扭转角度的微镜阵列,提出了一种多台阶平板静电驱动结构的微镜阵列.理论分析了多台阶平板结构与平行平板结构在静电驱动时的区别.研究了多台阶平板结构的制作工艺并采用体硅加工工艺制作了多台阶平板静电驱动的微镜阵列,获得了微镜面尺寸达到600 μm×200 μm,包含52个微镜面排布,占空比高达97％的微镜阵列.测试表明,制作的微镜面结构在驱动电压为164 V时可以实现最大1.1°的扭转角度,相对于传统的平行平板静电驱动结构大大降低了驱动电压.
為瞭在限定驅動電壓下穫得大鏡麵呎吋、大扭轉角度的微鏡陣列,提齣瞭一種多檯階平闆靜電驅動結構的微鏡陣列.理論分析瞭多檯階平闆結構與平行平闆結構在靜電驅動時的區彆.研究瞭多檯階平闆結構的製作工藝併採用體硅加工工藝製作瞭多檯階平闆靜電驅動的微鏡陣列,穫得瞭微鏡麵呎吋達到600 μm×200 μm,包含52箇微鏡麵排佈,佔空比高達97％的微鏡陣列.測試錶明,製作的微鏡麵結構在驅動電壓為164 V時可以實現最大1.1°的扭轉角度,相對于傳統的平行平闆靜電驅動結構大大降低瞭驅動電壓.
위료재한정구동전압하획득대경면척촌、대뉴전각도적미경진렬,제출료일충다태계평판정전구동결구적미경진렬.이론분석료다태계평판결구여평행평판결구재정전구동시적구별.연구료다태계평판결구적제작공예병채용체규가공공예제작료다태계평판정전구동적미경진렬,획득료미경면척촌체도600 μm×200 μm,포함52개미경면배포,점공비고체97％적미경진렬.측시표명,제작적미경면결구재구동전압위164 V시가이실현최대1.1°적뉴전각도,상대우전통적평행평판정전구동결구대대강저료구동전압.
