热加工工艺
熱加工工藝
열가공공예
HOT WORKING TECHNOLOGY
2012年
4期
117-119
,共3页
康文博%罗发%周万城%朱冬梅%黄智斌
康文博%囉髮%週萬城%硃鼕梅%黃智斌
강문박%라발%주만성%주동매%황지빈
沉积温度%磁控溅射%ZrO2薄膜%YSZ薄膜TB321
沉積溫度%磁控濺射%ZrO2薄膜%YSZ薄膜TB321
침적온도%자공천사%ZrO2박막%YSZ박막TB321
采用直流反应磁控溅射工艺在25、300℃沉积温度下分别制备了ZrO2薄膜和YSZ薄膜.结果表明,沉积温度对ZrO2薄膜沉积速率的影响不大,而对YSZ薄膜沉积速率的影响则很大.与YSZ薄膜相比,ZrO2薄膜容易形成结晶态.25℃时所制备的ZrO2薄膜为非晶态,300℃时则为单斜晶体结构,薄膜的结晶程度随沉积温度的升高而提高.而两种温度下制备的YSZ薄膜均为非晶态薄膜.随沉积温度的升高,ZrO2薄膜表面变得致密光滑,而YSZ薄膜表面则变得粗糙不平.
採用直流反應磁控濺射工藝在25、300℃沉積溫度下分彆製備瞭ZrO2薄膜和YSZ薄膜.結果錶明,沉積溫度對ZrO2薄膜沉積速率的影響不大,而對YSZ薄膜沉積速率的影響則很大.與YSZ薄膜相比,ZrO2薄膜容易形成結晶態.25℃時所製備的ZrO2薄膜為非晶態,300℃時則為單斜晶體結構,薄膜的結晶程度隨沉積溫度的升高而提高.而兩種溫度下製備的YSZ薄膜均為非晶態薄膜.隨沉積溫度的升高,ZrO2薄膜錶麵變得緻密光滑,而YSZ薄膜錶麵則變得粗糙不平.
채용직류반응자공천사공예재25、300℃침적온도하분별제비료ZrO2박막화YSZ박막.결과표명,침적온도대ZrO2박막침적속솔적영향불대,이대YSZ박막침적속솔적영향칙흔대.여YSZ박막상비,ZrO2박막용역형성결정태.25℃시소제비적ZrO2박막위비정태,300℃시칙위단사정체결구,박막적결정정도수침적온도적승고이제고.이량충온도하제비적YSZ박막균위비정태박막.수침적온도적승고,ZrO2박막표면변득치밀광활,이YSZ박막표면칙변득조조불평.
