上海交通大学学报
上海交通大學學報
상해교통대학학보
JOURNAL OF SHANGHAI JIAOTONG UNIVERSITY
2005年
2期
324-328
,共5页
孔明%劳技军%张慧娟%戴嘉维%李戈扬
孔明%勞技軍%張慧娟%戴嘉維%李戈颺
공명%로기군%장혜연%대가유%리과양
TiN/SiC纳米多层膜%晶体生长%共格界面%立方碳化硅
TiN/SiC納米多層膜%晶體生長%共格界麵%立方碳化硅
TiN/SiC납미다층막%정체생장%공격계면%립방탄화규
研究了TiN/SiC纳米多层膜中的晶体互促生长效应,采用磁控溅射法制备了一系列不同厚度SiC和TiN的TiN/SiC纳米多层膜以及TiN、SiC单层膜.利用透射电子显微镜、X射线衍射仪、扫描电子显微镜和X射线能量色散谱仪分析了多层膜的微结构.结果表明,尽管TiN和SiC的单层膜分别以纳米晶态和非晶态存在,但由TiN和SiC通过交替沉积形成的纳米多层膜却能够生长成为晶体完整性良好的柱状晶并呈现强烈的择优取向,显示了一种异质材料晶体生长的相互促进作用.纳米多层膜中的晶体互促生长效应与新沉积层原子在先沉积层表面上的移动性有重要关系.
研究瞭TiN/SiC納米多層膜中的晶體互促生長效應,採用磁控濺射法製備瞭一繫列不同厚度SiC和TiN的TiN/SiC納米多層膜以及TiN、SiC單層膜.利用透射電子顯微鏡、X射線衍射儀、掃描電子顯微鏡和X射線能量色散譜儀分析瞭多層膜的微結構.結果錶明,儘管TiN和SiC的單層膜分彆以納米晶態和非晶態存在,但由TiN和SiC通過交替沉積形成的納米多層膜卻能夠生長成為晶體完整性良好的柱狀晶併呈現彊烈的擇優取嚮,顯示瞭一種異質材料晶體生長的相互促進作用.納米多層膜中的晶體互促生長效應與新沉積層原子在先沉積層錶麵上的移動性有重要關繫.
연구료TiN/SiC납미다층막중적정체호촉생장효응,채용자공천사법제비료일계렬불동후도SiC화TiN적TiN/SiC납미다층막이급TiN、SiC단층막.이용투사전자현미경、X사선연사의、소묘전자현미경화X사선능량색산보의분석료다층막적미결구.결과표명,진관TiN화SiC적단층막분별이납미정태화비정태존재,단유TiN화SiC통과교체침적형성적납미다층막각능구생장성위정체완정성량호적주상정병정현강렬적택우취향,현시료일충이질재료정체생장적상호촉진작용.납미다층막중적정체호촉생장효응여신침적층원자재선침적층표면상적이동성유중요관계.
