新型炭材料
新型炭材料
신형탄재료
NEW CARBON MATERIALS
2005年
3期
229-234
,共6页
汪爱英%柯培玲%孙超%黄荣芳%闻立时
汪愛英%柯培玲%孫超%黃榮芳%聞立時
왕애영%가배령%손초%황영방%문립시
热丝化学气相沉积%金刚石薄膜%动力学生长%模拟计算
熱絲化學氣相沉積%金剛石薄膜%動力學生長%模擬計算
열사화학기상침적%금강석박막%동역학생장%모의계산
在传统工业型热丝化学气相沉积(HFCVD)反应腔内,相关工艺参数取模拟计算优化值的条件下,采用XRD,SEM及Raman光谱等分析手段研究了单晶Si (100)上较大面积金刚石薄膜的动力学生长行为,讨论了晶格取向的变化规律.结果表明:优化工艺参数条件下,在模拟计算的衬底温度和气体温度分布均匀的区域内,沉积的金刚石薄膜虽存在一定的内应力,但整体薄膜连续、均匀,几何晶形良好,质量较高,生长速率达1.8 μm/h.薄膜生长过程中晶形显露面受衬底温度和活性生长基团浓度的影响较大.
在傳統工業型熱絲化學氣相沉積(HFCVD)反應腔內,相關工藝參數取模擬計算優化值的條件下,採用XRD,SEM及Raman光譜等分析手段研究瞭單晶Si (100)上較大麵積金剛石薄膜的動力學生長行為,討論瞭晶格取嚮的變化規律.結果錶明:優化工藝參數條件下,在模擬計算的襯底溫度和氣體溫度分佈均勻的區域內,沉積的金剛石薄膜雖存在一定的內應力,但整體薄膜連續、均勻,幾何晶形良好,質量較高,生長速率達1.8 μm/h.薄膜生長過程中晶形顯露麵受襯底溫度和活性生長基糰濃度的影響較大.
재전통공업형열사화학기상침적(HFCVD)반응강내,상관공예삼수취모의계산우화치적조건하,채용XRD,SEM급Raman광보등분석수단연구료단정Si (100)상교대면적금강석박막적동역학생장행위,토론료정격취향적변화규률.결과표명:우화공예삼수조건하,재모의계산적츤저온도화기체온도분포균균적구역내,침적적금강석박막수존재일정적내응력,단정체박막련속、균균,궤하정형량호,질량교고,생장속솔체1.8 μm/h.박막생장과정중정형현로면수츤저온도화활성생장기단농도적영향교대.
