CAJ | 학술논문

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备了不同硅烷浓度系列的微晶硅电池.结果表明:电池的开路电压随着硅烷浓度的增大而逐渐增加,而电池的短路电流则先增加后减小,在转折点电池的效率达到最大,填充因子则变化不明显;(220)择优取向出现,I(220)/I(111)比值大,电池的短路电流密度也大,电池的效率也最高;在实验的范围内,电池的短路电流密度和厚度成正比例关系;首次在国内制备出了效率达7.3%,短路电流密度(Jsc)为21.7mA/cm2,开路电压(Voc)为0.52V,填充因子(FF)为65%的微晶硅电池.
채용심고빈등리자체증강화학기상침적(VHF-PECVD)기술제비료불동규완농도계렬적미정규전지.결과표명:전지적개로전압수착규완농도적증대이축점증가,이전지적단로전류칙선증가후감소,재전절점전지적효솔체도최대,전충인자칙변화불명현;(220)택우취향출현,I(220)/I(111)비치대,전지적단로전류밀도야대,전지적효솔야최고;재실험적범위내,전지적단로전류밀도화후도성정비례관계;수차재국내제비출료효솔체7.3%,단로전류밀도(Jsc)위21.7mA/cm2,개로전압(Voc)위0.52V,전충인자(FF)위65%적미정규전지.