微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2008年
3期
5-9
,共5页
陆志远%胡国华%恽斌峰%崔一平
陸誌遠%鬍國華%惲斌峰%崔一平
륙지원%호국화%운빈봉%최일평
反应离子刻蚀%波导%PMMA%粗糙度%侧壁垂直度
反應離子刻蝕%波導%PMMA%粗糙度%側壁垂直度
반응리자각식%파도%PMMA%조조도%측벽수직도
实验研究了表面粗糙度、侧壁垂直度与各刻蚀参量之间的关系,通过对刻蚀效果的分析,发现在低功率、高CHF3含量、低压强的情况下能获得最小的表面粗糙度;在高功率、50%CHF3含量、低压强的情况下能获得较陡直的波导侧壁.利用优化的刻蚀条件,对PMMA进行刻蚀,得到了均方根粗糙度小、侧壁陡直的波导.实验发现,该刻蚀条件对其他聚合物光波导材料的刻蚀也具有一定的指导意义.
實驗研究瞭錶麵粗糙度、側壁垂直度與各刻蝕參量之間的關繫,通過對刻蝕效果的分析,髮現在低功率、高CHF3含量、低壓彊的情況下能穫得最小的錶麵粗糙度;在高功率、50%CHF3含量、低壓彊的情況下能穫得較陡直的波導側壁.利用優化的刻蝕條件,對PMMA進行刻蝕,得到瞭均方根粗糙度小、側壁陡直的波導.實驗髮現,該刻蝕條件對其他聚閤物光波導材料的刻蝕也具有一定的指導意義.
실험연구료표면조조도、측벽수직도여각각식삼량지간적관계,통과대각식효과적분석,발현재저공솔、고CHF3함량、저압강적정황하능획득최소적표면조조도;재고공솔、50%CHF3함량、저압강적정황하능획득교두직적파도측벽.이용우화적각식조건,대PMMA진행각식,득도료균방근조조도소、측벽두직적파도.실험발현,해각식조건대기타취합물광파도재료적각식야구유일정적지도의의.
