中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2009年
6期
1559-1562
,共4页
侯海虹%沈健%张大伟%范正修
侯海虹%瀋健%張大偉%範正脩
후해홍%침건%장대위%범정수
薄膜%基片%表面粗糙度%清洗%散射仪
薄膜%基片%錶麵粗糙度%清洗%散射儀
박막%기편%표면조조도%청세%산사의
为了探讨不同清洗工艺对基片表面微观粗糙度的影响,利用总积分散射(TIS)仪分别对不同条件下超声清洗的K9玻璃基片,End-hall离子源清洗的K9玻璃基片和Kaufmann离子源清洗的熔石英基片的表面均方根(RMS)粗糙度进行了系统表征.结果表明,K9玻璃基片经不同条件下的超声波清洗后,由于清洗过程中表面受到损伤,其RMS粗糙度均有所增加;而对于End-hall离子源和Kaufmann离子源清洗的基片,其表面RMS粗糙度的变化受清洗过程中离子束流、清洗时间和离子束能量等实验参量的影响较为明显,选择合适的实验参量可以降低基片表面粗糙度.
為瞭探討不同清洗工藝對基片錶麵微觀粗糙度的影響,利用總積分散射(TIS)儀分彆對不同條件下超聲清洗的K9玻璃基片,End-hall離子源清洗的K9玻璃基片和Kaufmann離子源清洗的鎔石英基片的錶麵均方根(RMS)粗糙度進行瞭繫統錶徵.結果錶明,K9玻璃基片經不同條件下的超聲波清洗後,由于清洗過程中錶麵受到損傷,其RMS粗糙度均有所增加;而對于End-hall離子源和Kaufmann離子源清洗的基片,其錶麵RMS粗糙度的變化受清洗過程中離子束流、清洗時間和離子束能量等實驗參量的影響較為明顯,選擇閤適的實驗參量可以降低基片錶麵粗糙度.
위료탐토불동청세공예대기편표면미관조조도적영향,이용총적분산사(TIS)의분별대불동조건하초성청세적K9파리기편,End-hall리자원청세적K9파리기편화Kaufmann리자원청세적용석영기편적표면균방근(RMS)조조도진행료계통표정.결과표명,K9파리기편경불동조건하적초성파청세후,유우청세과정중표면수도손상,기RMS조조도균유소증가;이대우End-hall리자원화Kaufmann리자원청세적기편,기표면RMS조조도적변화수청세과정중리자속류、청세시간화리자속능량등실험삼량적영향교위명현,선택합괄적실험삼량가이강저기편표면조조도.
