红外与激光工程
紅外與激光工程
홍외여격광공정
INFRARED AND LASER ENGINEERING
2010年
6期
1085-1087
,共3页
肖特基探测器%日盲型%响应光谱
肖特基探測器%日盲型%響應光譜
초특기탐측기%일맹형%향응광보
在金属有机化学汽相沉积(MOCVD)方法生长的i-Al0.45Ga0.55N/n-Al0.65Ga0.35N/AlN材料结构上,成功研制了零偏暗电流为10-13量级、峰值响应为0.02～0.03 AW-1的日盲型肖特基紫外探测器.对探测器正照射和背照射时的光谱特性的研究表明:正、背照射时器件的峰值响应大小变化不大;在短波方向,正照射时的器件由于界面层的存在,在峰值响应稍有回落后平滑响应,而背照射时的器件由于n层组分调制响应迅速下滑;在长波方向,正照射时器件在截止波长后的响应较大.
在金屬有機化學汽相沉積(MOCVD)方法生長的i-Al0.45Ga0.55N/n-Al0.65Ga0.35N/AlN材料結構上,成功研製瞭零偏暗電流為10-13量級、峰值響應為0.02～0.03 AW-1的日盲型肖特基紫外探測器.對探測器正照射和揹照射時的光譜特性的研究錶明:正、揹照射時器件的峰值響應大小變化不大;在短波方嚮,正照射時的器件由于界麵層的存在,在峰值響應稍有迴落後平滑響應,而揹照射時的器件由于n層組分調製響應迅速下滑;在長波方嚮,正照射時器件在截止波長後的響應較大.
재금속유궤화학기상침적(MOCVD)방법생장적i-Al0.45Ga0.55N/n-Al0.65Ga0.35N/AlN재료결구상,성공연제료령편암전류위10-13량급、봉치향응위0.02～0.03 AW-1적일맹형초특기자외탐측기.대탐측기정조사화배조사시적광보특성적연구표명:정、배조사시기건적봉치향응대소변화불대;재단파방향,정조사시적기건유우계면층적존재,재봉치향응초유회락후평활향응,이배조사시적기건유우n층조분조제향응신속하활;재장파방향,정조사시기건재절지파장후적향응교대.
