CAJ | 학술논문

采用声光调Q二极管泵浦Nd:YAG激光器,利用“单脉冲同点间隔多次”激光加工工艺,对碳化硅机械密封试样端面进行激光表面微织构的加工工艺试验研究.采用Wyko-NT1100表面形貌三维测量仪测量了微织构的几何形貌参数,分析了泵浦电流、脉冲重复频率、脉冲重复次数和扫描速度等激光加工工艺参数对微凹腔和微凹槽织构的几何形貌参数与加工质量的影响.结果表明,泵浦电流和脉冲重复次数对微凹腔的几何形貌参数与加工质量影响较大,而重复频率的影响则相对较小；泵浦电流、扫描速度和重复频率对微凹槽的加工质量均有较大影响.通过优化激光加工工艺参数组合,可以加工出较优的微观几何形貌.加工微凹腔较优的工艺参数范围:泵浦电流为14～16 A,脉冲重复次数为1～10次；加工微凹槽的较优工艺参数范围:泵浦电流为14～16 A,重复频率为1500～2500 Hz,扫描速度为8～25 mm/s.
채용성광조Q이겁관빙포Nd:YAG격광기,이용“단맥충동점간격다차”격광가공공예,대탄화규궤계밀봉시양단면진행격광표면미직구적가공공예시험연구.채용Wyko-NT1100표면형모삼유측량의측량료미직구적궤하형모삼수,분석료빙포전류、맥충중복빈솔、맥충중복차수화소묘속도등격광가공공예삼수대미요강화미요조직구적궤하형모삼수여가공질량적영향.결과표명,빙포전류화맥충중복차수대미요강적궤하형모삼수여가공질량영향교대,이중복빈솔적영향칙상대교소；빙포전류、소묘속도화중복빈솔대미요조적가공질량균유교대영향.통과우화격광가공공예삼수조합,가이가공출교우적미관궤하형모.가공미요강교우적공예삼수범위:빙포전류위14～16 A,맥충중복차수위1～10차；가공미요조적교우공예삼수범위:빙포전류위14～16 A,중복빈솔위1500～2500 Hz,소묘속도위8～25 mm/s.