传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2012年
11期
94-96
,共3页
朱思敏%谭秋林%裴向东%熊继军
硃思敏%譚鞦林%裴嚮東%熊繼軍
주사민%담추림%배향동%웅계군
微气体传感器%悬浮薄膜堆叠式%ANSYS%结构设计%温度仿真
微氣體傳感器%懸浮薄膜堆疊式%ANSYS%結構設計%溫度倣真
미기체전감기%현부박막퇴첩식%ANSYS%결구설계%온도방진
本文基于MEMS工艺所设计的气体传感器,克服了以往同类传感器响应时间长,读取数据量小,功耗大等缺点.由于温度作为气体传感器的一个重要工作条件,其敏感薄膜上温度的均衡度直接影响气体传感器的工作性能.该传感器采用悬浮薄膜式堆叠结构,堆叠层主要包含硅基底、隔离层、加热电极、绝缘层以及敏感薄膜.这样的结构设计是为了形成热隔离真空腔,真空环境可以有效降低温度瞬变对敏感薄膜的影响.利用ANSYS软件建立该结构建模,并对其进行温度仿真后发现该结构符合预期的理论分析,其响应时间缩短,拾取的数据量大幅增加,同时功耗有效降低.
本文基于MEMS工藝所設計的氣體傳感器,剋服瞭以往同類傳感器響應時間長,讀取數據量小,功耗大等缺點.由于溫度作為氣體傳感器的一箇重要工作條件,其敏感薄膜上溫度的均衡度直接影響氣體傳感器的工作性能.該傳感器採用懸浮薄膜式堆疊結構,堆疊層主要包含硅基底、隔離層、加熱電極、絕緣層以及敏感薄膜.這樣的結構設計是為瞭形成熱隔離真空腔,真空環境可以有效降低溫度瞬變對敏感薄膜的影響.利用ANSYS軟件建立該結構建模,併對其進行溫度倣真後髮現該結構符閤預期的理論分析,其響應時間縮短,拾取的數據量大幅增加,同時功耗有效降低.
본문기우MEMS공예소설계적기체전감기,극복료이왕동류전감기향응시간장,독취수거량소,공모대등결점.유우온도작위기체전감기적일개중요공작조건,기민감박막상온도적균형도직접영향기체전감기적공작성능.해전감기채용현부박막식퇴첩결구,퇴첩층주요포함규기저、격리층、가열전겁、절연층이급민감박막.저양적결구설계시위료형성열격리진공강,진공배경가이유효강저온도순변대민감박막적영향.이용ANSYS연건건립해결구건모,병대기진행온도방진후발현해결구부합예기적이론분석,기향응시간축단,습취적수거량대폭증가,동시공모유효강저.
