工业工程
工業工程
공업공정
INDUSTRIAL ENGINEERING JOURNAL
2012年
2期
1-15
,共15页
半导体制造%组合设备%生产调度%系统建模和分析
半導體製造%組閤設備%生產調度%繫統建模和分析
반도체제조%조합설비%생산조도%계통건모화분석
作为半导体制造中单晶圆加工技术的可重构集成设备,组合设备在半导体产业得到越来越广泛的应用.使用组合设备使得半导体制造产出更高、生产周期更短、空间利用率更高以及生产成本更低.由于组合设备的运行受限于诸多约束条件,有效运行一台组合设备相当困难.目前已有大量的有关组合设备建模、性能分析及调度等相关研究工作.本文回顾了这些研究工作的进展及其使用的研究方法,探讨了现有的方法的优缺点.基于这些分析,指出了进一步的研究方向.
作為半導體製造中單晶圓加工技術的可重構集成設備,組閤設備在半導體產業得到越來越廣汎的應用.使用組閤設備使得半導體製造產齣更高、生產週期更短、空間利用率更高以及生產成本更低.由于組閤設備的運行受限于諸多約束條件,有效運行一檯組閤設備相噹睏難.目前已有大量的有關組閤設備建模、性能分析及調度等相關研究工作.本文迴顧瞭這些研究工作的進展及其使用的研究方法,探討瞭現有的方法的優缺點.基于這些分析,指齣瞭進一步的研究方嚮.
작위반도체제조중단정원가공기술적가중구집성설비,조합설비재반도체산업득도월래월엄범적응용.사용조합설비사득반도체제조산출경고、생산주기경단、공간이용솔경고이급생산성본경저.유우조합설비적운행수한우제다약속조건,유효운행일태조합설비상당곤난.목전이유대량적유관조합설비건모、성능분석급조도등상관연구공작.본문회고료저사연구공작적진전급기사용적연구방법,탐토료현유적방법적우결점.기우저사분석,지출료진일보적연구방향.
