CAJ | 학술논문

超精密定位系统是现代科技与工业发展的核心技术之一,长期以来受科研及高科技产业迅速发展的推动,对其运动控制技术的需求迅速增长,比如超精密加工,微/纳米制造,包装等。除需要达到超精密的定位精度外,还要求各运动轴在定位过程中严格按照既定的轨迹协同运动。本文首先提出了基于ACS运动控制模块的X-Y定位平台的设计方案。然后,根据控制需求进行了系统参数的合理配置和优化。测试结果表明该系统能实现既定轨迹的精确跟踪,并能满足不断发展的多自由度,多约束加工和制造要求。
초정밀정위계통시현대과기여공업발전적핵심기술지일,장기이래수과연급고과기산업신속발전적추동,대기운동공제기술적수구신속증장,비여초정밀가공,미/납미제조,포장등。제수요체도초정밀적정위정도외,환요구각운동축재정위과정중엄격안조기정적궤적협동운동。본문수선제출료기우ACS운동공제모괴적X-Y정위평태적설계방안。연후,근거공제수구진행료계통삼수적합리배치화우화。측시결과표명해계통능실현기정궤적적정학근종,병능만족불단발전적다자유도,다약속가공화제조요구。