四川大学学报(自然科学版)
四川大學學報(自然科學版)
사천대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF SICHUAN UNIVERSITY
2003年
1期
86-89
,共4页
微孔%金%吸除%反向漏电流
微孔%金%吸除%反嚮漏電流
미공%금%흡제%반향루전류
高注量的氦注入硅中并经热处理所形成的微孔,对金属原子的吸除作用已为大量的研究所证实.作者报道了该技术应用于平面二极管中对金杂质吸除的研究.其结果表明,在粗糙研磨表面上形成的氦诱生微孔,同样具有良好的吸除效果.
高註量的氦註入硅中併經熱處理所形成的微孔,對金屬原子的吸除作用已為大量的研究所證實.作者報道瞭該技術應用于平麵二極管中對金雜質吸除的研究.其結果錶明,在粗糙研磨錶麵上形成的氦誘生微孔,同樣具有良好的吸除效果.
고주량적양주입규중병경열처리소형성적미공,대금속원자적흡제작용이위대량적연구소증실.작자보도료해기술응용우평면이겁관중대금잡질흡제적연구.기결과표명,재조조연마표면상형성적양유생미공,동양구유량호적흡제효과.
