光机电信息
光機電信息
광궤전신식
OME INFORMATION
2011年
1期
10-14
,共5页
邹微微%王玉霞%徐扬%张秀
鄒微微%王玉霞%徐颺%張秀
추미미%왕옥하%서양%장수
热应力%AlN薄膜%有限元
熱應力%AlN薄膜%有限元
열응력%AlN박막%유한원
本文通过ANSYS有限元分析软件对薄膜的热应力进行了模拟计算,并通过理论计算验证了其合理性.模拟出了薄膜应力值及分布情况,分析了薄膜沉积温度与薄膜厚度对薄膜度应力的影响.从模拟的结果可以看出,薄膜上表面X方向应力主要集中在薄膜中心,边缘应力较小,但边缘的形变较大;薄膜的热应力随着薄膜沉积温度的升高而增大,随着膜厚的增加而减小.
本文通過ANSYS有限元分析軟件對薄膜的熱應力進行瞭模擬計算,併通過理論計算驗證瞭其閤理性.模擬齣瞭薄膜應力值及分佈情況,分析瞭薄膜沉積溫度與薄膜厚度對薄膜度應力的影響.從模擬的結果可以看齣,薄膜上錶麵X方嚮應力主要集中在薄膜中心,邊緣應力較小,但邊緣的形變較大;薄膜的熱應力隨著薄膜沉積溫度的升高而增大,隨著膜厚的增加而減小.
본문통과ANSYS유한원분석연건대박막적열응력진행료모의계산,병통과이론계산험증료기합이성.모의출료박막응력치급분포정황,분석료박막침적온도여박막후도대박막도응력적영향.종모의적결과가이간출,박막상표면X방향응력주요집중재박막중심,변연응력교소,단변연적형변교대;박막적열응력수착박막침적온도적승고이증대,수착막후적증가이감소.
