材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2009年
19期
11-14,19
,共5页
多晶硅%冶金法%除磷
多晶硅%冶金法%除燐
다정규%야금법%제린
磷是多晶硅中的一种主要杂质元素,目前国内外采用冶金法除磷的工艺主要包括酸洗除磷、合金定向凝固除磷和真空除磷工艺.其中,酸洗除磷工艺可以很有效地去除磷杂质,但仍未达到太阳能级多晶硅小于0.1×10-4%(质量分数)的要求.采用合金定向凝固工艺可以去除80%以上的磷杂质,但目前对凝固后硅中残留溶剂金属的去除方法还有待进一步的研究.通过真空感应熔炼实验已将磷含量从15×10-4%(质量分数)降低至0.8×10-5%(质量分数),并对除磷的热力学条件进行了初步探索.
燐是多晶硅中的一種主要雜質元素,目前國內外採用冶金法除燐的工藝主要包括痠洗除燐、閤金定嚮凝固除燐和真空除燐工藝.其中,痠洗除燐工藝可以很有效地去除燐雜質,但仍未達到太暘能級多晶硅小于0.1×10-4%(質量分數)的要求.採用閤金定嚮凝固工藝可以去除80%以上的燐雜質,但目前對凝固後硅中殘留溶劑金屬的去除方法還有待進一步的研究.通過真空感應鎔煉實驗已將燐含量從15×10-4%(質量分數)降低至0.8×10-5%(質量分數),併對除燐的熱力學條件進行瞭初步探索.
린시다정규중적일충주요잡질원소,목전국내외채용야금법제린적공예주요포괄산세제린、합금정향응고제린화진공제린공예.기중,산세제린공예가이흔유효지거제린잡질,단잉미체도태양능급다정규소우0.1×10-4%(질량분수)적요구.채용합금정향응고공예가이거제80%이상적린잡질,단목전대응고후규중잔류용제금속적거제방법환유대진일보적연구.통과진공감응용련실험이장린함량종15×10-4%(질량분수)강저지0.8×10-5%(질량분수),병대제린적열역학조건진행료초보탐색.
