传感器世界
傳感器世界
전감기세계
SENSOR WORLD
2009年
2期
15-19
,共5页
许明%孙以材%潘国峰%张翼飞%何建建
許明%孫以材%潘國峰%張翼飛%何建建
허명%손이재%반국봉%장익비%하건건
TiO2薄膜%NO2气体%溶胶-凝胶法%气敏元件
TiO2薄膜%NO2氣體%溶膠-凝膠法%氣敏元件
TiO2박막%NO2기체%용효-응효법%기민원건
NO2是一种强毒性气体,本文利用了溶胶-凝胶法在硅片及陶瓷管上制备TiO2纳米薄膜,并探讨了在制备过程中不同的因素对薄膜成膜质量的影响.并用马弗炉对硅片及陶瓷管上制备的TiO2纳米薄膜进行不同温度的退火处理.对其分别进行XRD的分析,和原子力显微镜分析.利用气敏测试系统对不同的退火温度下的气敏元件进行测试.研制出工作温度低,气敏特性强,响应恢复特性好的基于TiO2的NO2气敏传感器.
NO2是一種彊毒性氣體,本文利用瞭溶膠-凝膠法在硅片及陶瓷管上製備TiO2納米薄膜,併探討瞭在製備過程中不同的因素對薄膜成膜質量的影響.併用馬弗爐對硅片及陶瓷管上製備的TiO2納米薄膜進行不同溫度的退火處理.對其分彆進行XRD的分析,和原子力顯微鏡分析.利用氣敏測試繫統對不同的退火溫度下的氣敏元件進行測試.研製齣工作溫度低,氣敏特性彊,響應恢複特性好的基于TiO2的NO2氣敏傳感器.
NO2시일충강독성기체,본문이용료용효-응효법재규편급도자관상제비TiO2납미박막,병탐토료재제비과정중불동적인소대박막성막질량적영향.병용마불로대규편급도자관상제비적TiO2납미박막진행불동온도적퇴화처리.대기분별진행XRD적분석,화원자력현미경분석.이용기민측시계통대불동적퇴화온도하적기민원건진행측시.연제출공작온도저,기민특성강,향응회복특성호적기우TiO2적NO2기민전감기.
