机械设计与制造
機械設計與製造
궤계설계여제조
MACHINERY DESIGN & MANUFACTURE
2008年
7期
43-44
,共2页
佟军民%宁玉伟%严伟%胡松
佟軍民%寧玉偉%嚴偉%鬍鬆
동군민%저옥위%엄위%호송
接近式光刻机%螺旋差动机构%微动分辨力
接近式光刻機%螺鏇差動機構%微動分辨力
접근식광각궤%라선차동궤구%미동분변력
为满足接近式光刻设备中基片和掩模间隙分离的要求,设计了微动分离间隙机构.该结构由螺旋差动机构和杠杆机构组成.采用两同轴且旋向相同,螺距分别为0.7mm和0.8mm的差动螺旋副实现2μm的微动分辨力,进一步经1:2杠杆位移缩小机构实现1μm的间隙分离微调分辨力.试验表明,该机构达到了设计要求,满足了工作需要.
為滿足接近式光刻設備中基片和掩模間隙分離的要求,設計瞭微動分離間隙機構.該結構由螺鏇差動機構和槓桿機構組成.採用兩同軸且鏇嚮相同,螺距分彆為0.7mm和0.8mm的差動螺鏇副實現2μm的微動分辨力,進一步經1:2槓桿位移縮小機構實現1μm的間隙分離微調分辨力.試驗錶明,該機構達到瞭設計要求,滿足瞭工作需要.
위만족접근식광각설비중기편화엄모간극분리적요구,설계료미동분리간극궤구.해결구유라선차동궤구화강간궤구조성.채용량동축차선향상동,라거분별위0.7mm화0.8mm적차동라선부실현2μm적미동분변력,진일보경1:2강간위이축소궤구실현1μm적간극분리미조분변력.시험표명,해궤구체도료설계요구,만족료공작수요.
