化学研究
化學研究
화학연구
CHEMICAL RESEARCHES
2008年
2期
88-90
,共3页
ZnO薄膜%氧偏压%XRD%透射率
ZnO薄膜%氧偏壓%XRD%透射率
ZnO박막%양편압%XRD%투사솔
采用磁控溅射方法在ITO玻璃上成功制备了具有良好c轴取向的ZnO薄膜.并研究了氧偏压对ZnO薄膜结构的影响.研究发现:当氧偏压为60%时,薄膜的结晶性最好.当氧偏压继续升高时将导致薄膜的结晶性变差,晶粒尺寸变小,晶界增多,薄膜表面粗糙度增加,对光的散射和吸收作用增强,从而导致光的透过率降低.
採用磁控濺射方法在ITO玻璃上成功製備瞭具有良好c軸取嚮的ZnO薄膜.併研究瞭氧偏壓對ZnO薄膜結構的影響.研究髮現:噹氧偏壓為60%時,薄膜的結晶性最好.噹氧偏壓繼續升高時將導緻薄膜的結晶性變差,晶粒呎吋變小,晶界增多,薄膜錶麵粗糙度增加,對光的散射和吸收作用增彊,從而導緻光的透過率降低.
채용자공천사방법재ITO파리상성공제비료구유량호c축취향적ZnO박막.병연구료양편압대ZnO박막결구적영향.연구발현:당양편압위60%시,박막적결정성최호.당양편압계속승고시장도치박막적결정성변차,정립척촌변소,정계증다,박막표면조조도증가,대광적산사화흡수작용증강,종이도치광적투과솔강저.
