采矿技术
採礦技術
채광기술
MININE TECHNOLOGY
2008年
4期
120-121,147
,共3页
范树新%耿振亚%聂丽梅
範樹新%耿振亞%聶麗梅
범수신%경진아%섭려매
MEMS压阻式加速度传感器%研究现状%发展趋势
MEMS壓阻式加速度傳感器%研究現狀%髮展趨勢
MEMS압조식가속도전감기%연구현상%발전추세
介绍了MEMS压阻式加速度传感器的特点和工作原理,分析了国内外MEMS压阻式加速度传感器的研究热点及进展.
介紹瞭MEMS壓阻式加速度傳感器的特點和工作原理,分析瞭國內外MEMS壓阻式加速度傳感器的研究熱點及進展.
개소료MEMS압조식가속도전감기적특점화공작원리,분석료국내외MEMS압조식가속도전감기적연구열점급진전.