稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2008年
z2期
120-123
,共4页
陈敬峰%杜丕一%覃莹%韩高荣%翁文剑
陳敬峰%杜丕一%覃瑩%韓高榮%翁文劍
진경봉%두비일%담형%한고영%옹문검
钛酸铅%薄膜%取向生长%诱导层
鈦痠鉛%薄膜%取嚮生長%誘導層
태산연%박막%취향생장%유도층
采用溶胶-凝胶工艺,以TbCl3作为掺杂剂,在无规取向的ITO透明导电玻璃基板上成功地制备了高度择优取向的PbTiO3(PT)铁电薄膜.通过对不同前驱溶液浓度、热处理工艺、热处理时间和温度制备的PT薄膜样品的XRD图谱进行分析,得出了较为优化的制备工艺,并在此基础上溅射沉积出具有明显择优取向特征的PST薄膜.很明显,以取向PT作为诱导层,可以得到择优取向的PST薄膜材料.
採用溶膠-凝膠工藝,以TbCl3作為摻雜劑,在無規取嚮的ITO透明導電玻璃基闆上成功地製備瞭高度擇優取嚮的PbTiO3(PT)鐵電薄膜.通過對不同前驅溶液濃度、熱處理工藝、熱處理時間和溫度製備的PT薄膜樣品的XRD圖譜進行分析,得齣瞭較為優化的製備工藝,併在此基礎上濺射沉積齣具有明顯擇優取嚮特徵的PST薄膜.很明顯,以取嚮PT作為誘導層,可以得到擇優取嚮的PST薄膜材料.
채용용효-응효공예,이TbCl3작위참잡제,재무규취향적ITO투명도전파리기판상성공지제비료고도택우취향적PbTiO3(PT)철전박막.통과대불동전구용액농도、열처리공예、열처리시간화온도제비적PT박막양품적XRD도보진행분석,득출료교위우화적제비공예,병재차기출상천사침적출구유명현택우취향특정적PST박막.흔명현,이취향PT작위유도층,가이득도택우취향적PST박막재료.
