上海计量测试
上海計量測試
상해계량측시
SHANGHAI MEASUREMENT AND TESTING
2008年
2期
8-11
,共4页
微位移%静电计%电容%可动电极
微位移%靜電計%電容%可動電極
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该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法.该方法中,静电计测量的可变电容两电极间电位差可直接转换为位移,其原理,最终公式和测试电路相当简单,而分辨率,预期能达到nm量级.用静电计--平行板电容测量装置对振动或冲击引起的微位移进行测量的实验结果验证了上述结论.
該文敘述一種電容式微位移靜電計測量方法.該方法中,靜電計測量的可變電容兩電極間電位差可直接轉換為位移,其原理,最終公式和測試電路相噹簡單,而分辨率,預期能達到nm量級.用靜電計--平行闆電容測量裝置對振動或遲擊引起的微位移進行測量的實驗結果驗證瞭上述結論.
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