材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2008年
3期
122-124
,共3页
魏雄邦%吴志明%王涛%许向东%唐晶晶%蒋亚东
魏雄邦%吳誌明%王濤%許嚮東%唐晶晶%蔣亞東
위웅방%오지명%왕도%허향동%당정정%장아동
氧化钒%薄膜厚度%光谱式椭偏仪%方阻%方阻温度系数
氧化釩%薄膜厚度%光譜式橢偏儀%方阻%方阻溫度繫數
양화범%박막후도%광보식타편의%방조%방조온도계수
利用直流反应磁控溅射法在表面覆盖有Si3N4薄膜的Si(100)基片上制备了不同厚度的氧化钒薄膜.用光谱式椭偏仪对薄膜的厚度进行了测试.采用四探针测试系统对制备的薄膜进行了方阻和方阻温度系数的分析,发现薄膜的厚度对薄膜的电学特性有很大的影响.实验结果表明氧化钒薄膜的厚度调整可作为调控氧化钒薄膜性能的一种重要工艺手段.
利用直流反應磁控濺射法在錶麵覆蓋有Si3N4薄膜的Si(100)基片上製備瞭不同厚度的氧化釩薄膜.用光譜式橢偏儀對薄膜的厚度進行瞭測試.採用四探針測試繫統對製備的薄膜進行瞭方阻和方阻溫度繫數的分析,髮現薄膜的厚度對薄膜的電學特性有很大的影響.實驗結果錶明氧化釩薄膜的厚度調整可作為調控氧化釩薄膜性能的一種重要工藝手段.
이용직류반응자공천사법재표면복개유Si3N4박막적Si(100)기편상제비료불동후도적양화범박막.용광보식타편의대박막적후도진행료측시.채용사탐침측시계통대제비적박막진행료방조화방조온도계수적분석,발현박막적후도대박막적전학특성유흔대적영향.실험결과표명양화범박막적후도조정가작위조공양화범박막성능적일충중요공예수단.
