电加工与模具
電加工與模具
전가공여모구
ELECTROMACHINING & MOULD
2007年
6期
6-10
,共5页
汪炜%刘志东%田宗军%黄因慧%刘正埙
汪煒%劉誌東%田宗軍%黃因慧%劉正壎
왕위%류지동%전종군%황인혜%류정훈
电火花电解复合加工%切割%低电阻率%硅片%表面完整性
電火花電解複閤加工%切割%低電阻率%硅片%錶麵完整性
전화화전해복합가공%절할%저전조솔%규편%표면완정성
电火花线切割加工方法被引入单晶硅加工技术领域,使低电阻率掺杂硅片的放电切割成为可能.以表面完整性作为突破口,采用基于复合工作液的高速走丝电火花电解复合切割方法,对低电阻率(0.01 -1 Ω·cm)单晶硅片的切割效率、表面质量和切割厚度等技术指标进行了试验研究.试验结果表明,通过合理选择电规准和工作液等相关工艺参数,最大切割效率可达600 mm 2/min,切割厚度可小于120 μm,与低速走丝电火花线切割加工相比显著减少表面热影响区和有害金属元素残余,为该项技术的进一步推广应用提供了重要的理论和实践参考依据.
電火花線切割加工方法被引入單晶硅加工技術領域,使低電阻率摻雜硅片的放電切割成為可能.以錶麵完整性作為突破口,採用基于複閤工作液的高速走絲電火花電解複閤切割方法,對低電阻率(0.01 -1 Ω·cm)單晶硅片的切割效率、錶麵質量和切割厚度等技術指標進行瞭試驗研究.試驗結果錶明,通過閤理選擇電規準和工作液等相關工藝參數,最大切割效率可達600 mm 2/min,切割厚度可小于120 μm,與低速走絲電火花線切割加工相比顯著減少錶麵熱影響區和有害金屬元素殘餘,為該項技術的進一步推廣應用提供瞭重要的理論和實踐參攷依據.
전화화선절할가공방법피인입단정규가공기술영역,사저전조솔참잡규편적방전절할성위가능.이표면완정성작위돌파구,채용기우복합공작액적고속주사전화화전해복합절할방법,대저전조솔(0.01 -1 Ω·cm)단정규편적절할효솔、표면질량화절할후도등기술지표진행료시험연구.시험결과표명,통과합리선택전규준화공작액등상관공예삼수,최대절할효솔가체600 mm 2/min,절할후도가소우120 μm,여저속주사전화화선절할가공상비현저감소표면열영향구화유해금속원소잔여,위해항기술적진일보추엄응용제공료중요적이론화실천삼고의거.
