稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2007年
z3期
589-593
,共5页
王鹏%赵青南%周祥%赵修建
王鵬%趙青南%週祥%趙脩建
왕붕%조청남%주상%조수건
同质缓冲层%ZnO:Al薄膜%射频磁控溅射法%方块电阻%玻璃基片
同質緩遲層%ZnO:Al薄膜%射頻磁控濺射法%方塊電阻%玻璃基片
동질완충층%ZnO:Al박막%사빈자공천사법%방괴전조%파리기편
室温下在玻璃基片上用射频磁控溅射法制备了不同厚度的ZnO:Al(AZO)缓冲层,并在该同质缓冲层上溅射生长了AZO薄膜.用XRD测试了薄膜结构,用四探针法测量了薄膜方块电阻,用紫外-可见光谱仪测试了薄膜透过率,用双光束红外分光光度计测试了薄膜在中红外范围内的红外反射率.并比较并分析了引入同质缓冲层前后薄膜结构与性能的变化.结果表明,与没有缓冲层的样品相比较,适当厚度的同质缓冲层能降低AZO薄膜中的残余应力,使薄膜晶粒尺寸变大,降低AZO薄膜的方块电阻,使薄膜的紫外截止边发生蓝移,增加薄膜的红外反射率,并不明显影响薄膜的可见光透过率.
室溫下在玻璃基片上用射頻磁控濺射法製備瞭不同厚度的ZnO:Al(AZO)緩遲層,併在該同質緩遲層上濺射生長瞭AZO薄膜.用XRD測試瞭薄膜結構,用四探針法測量瞭薄膜方塊電阻,用紫外-可見光譜儀測試瞭薄膜透過率,用雙光束紅外分光光度計測試瞭薄膜在中紅外範圍內的紅外反射率.併比較併分析瞭引入同質緩遲層前後薄膜結構與性能的變化.結果錶明,與沒有緩遲層的樣品相比較,適噹厚度的同質緩遲層能降低AZO薄膜中的殘餘應力,使薄膜晶粒呎吋變大,降低AZO薄膜的方塊電阻,使薄膜的紫外截止邊髮生藍移,增加薄膜的紅外反射率,併不明顯影響薄膜的可見光透過率.
실온하재파리기편상용사빈자공천사법제비료불동후도적ZnO:Al(AZO)완충층,병재해동질완충층상천사생장료AZO박막.용XRD측시료박막결구,용사탐침법측량료박막방괴전조,용자외-가견광보의측시료박막투과솔,용쌍광속홍외분광광도계측시료박막재중홍외범위내적홍외반사솔.병비교병분석료인입동질완충층전후박막결구여성능적변화.결과표명,여몰유완충층적양품상비교,괄당후도적동질완충층능강저AZO박막중적잔여응력,사박막정립척촌변대,강저AZO박막적방괴전조,사박막적자외절지변발생람이,증가박막적홍외반사솔,병불명현영향박막적가견광투과솔.
