材料热处理学报
材料熱處理學報
재료열처이학보
TRANSACTIONS OF MATERIALS AND HEAT TREATMENT
2007年
6期
128-130
,共3页
刘新彬%孔祥华%何业东%张鲲%王向欣%胡守天%杨浩
劉新彬%孔祥華%何業東%張鯤%王嚮訢%鬍守天%楊浩
류신빈%공상화%하업동%장곤%왕향흔%호수천%양호
磁控溅射%氮化硅%取向硅钢%铁损
磁控濺射%氮化硅%取嚮硅鋼%鐵損
자공천사%담화규%취향규강%철손
采用反应磁控溅射技术在取向硅钢片表面制备了氮化硅(Si3N4)张力涂层.通过实验研究反应磁控溅射时间、高温退火温度和实验气氛对硅钢铁损以及涂层附着性的影响.研究表明,反应磁控溅射技术在硅钢表面溅射氮化硅张力涂层可有效的降低硅钢的铁损,且各种工艺条件对硅钢的铁损和涂层的附着性影响很大.在氮气和氩气气氛中,经过5min反应磁控溅射氮化硅,然后在氢气和氮气的气氛中,820℃下进行高温退火时,取向硅钢的铁损可降低18%.
採用反應磁控濺射技術在取嚮硅鋼片錶麵製備瞭氮化硅(Si3N4)張力塗層.通過實驗研究反應磁控濺射時間、高溫退火溫度和實驗氣氛對硅鋼鐵損以及塗層附著性的影響.研究錶明,反應磁控濺射技術在硅鋼錶麵濺射氮化硅張力塗層可有效的降低硅鋼的鐵損,且各種工藝條件對硅鋼的鐵損和塗層的附著性影響很大.在氮氣和氬氣氣氛中,經過5min反應磁控濺射氮化硅,然後在氫氣和氮氣的氣氛中,820℃下進行高溫退火時,取嚮硅鋼的鐵損可降低18%.
채용반응자공천사기술재취향규강편표면제비료담화규(Si3N4)장력도층.통과실험연구반응자공천사시간、고온퇴화온도화실험기분대규강철손이급도층부착성적영향.연구표명,반응자공천사기술재규강표면천사담화규장력도층가유효적강저규강적철손,차각충공예조건대규강적철손화도층적부착성영향흔대.재담기화아기기분중,경과5min반응자공천사담화규,연후재경기화담기적기분중,820℃하진행고온퇴화시,취향규강적철손가강저18%.
