微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
3期
60-64
,共5页
单建华%孔德义%林丙涛%汪小华%梅涛%褚家如
單建華%孔德義%林丙濤%汪小華%梅濤%褚傢如
단건화%공덕의%림병도%왕소화%매도%저가여
倾角传感器%压敏电阻%微机械%有限元
傾角傳感器%壓敏電阻%微機械%有限元
경각전감기%압민전조%미궤계%유한원
提出了一种结构简单,制造工艺容易实现的硅微机械二维倾角传感器结构设计,它由蝶形质量块和连接它们的四个成十字形的硅应变梁以及具有过载限位保护功能的硼硅玻璃衬底构成.传感器能同时检测出绕两轴的倾角变化.分析了硅应变梁的受力情况,得到了与倾角的解析关系,并用有限元方法验证了结果,理论灵敏度为0.75 mV/ °.
提齣瞭一種結構簡單,製造工藝容易實現的硅微機械二維傾角傳感器結構設計,它由蝶形質量塊和連接它們的四箇成十字形的硅應變樑以及具有過載限位保護功能的硼硅玻璃襯底構成.傳感器能同時檢測齣繞兩軸的傾角變化.分析瞭硅應變樑的受力情況,得到瞭與傾角的解析關繫,併用有限元方法驗證瞭結果,理論靈敏度為0.75 mV/ °.
제출료일충결구간단,제조공예용역실현적규미궤계이유경각전감기결구설계,타유접형질량괴화련접타문적사개성십자형적규응변량이급구유과재한위보호공능적붕규파리츤저구성.전감기능동시검측출요량축적경각변화.분석료규응변량적수력정황,득도료여경각적해석관계,병용유한원방법험증료결과,이론령민도위0.75 mV/ °.
