CAJ | 학술논문

采用单横模(TEM01)和多模横向激励高气压(TEA)脉冲二氧化碳激光器和不同焦距的透镜对10.6μm的增透膜进行了破坏实验,对破坏样品进行了显微分析,研究了不同激光模式和不同焦距透镜对薄膜破坏的影响.实验结果表明,在短焦距透镜聚焦时,相同能量密度的单横模激光脉冲焦距前比焦距后更容易造成薄膜的损伤,破坏阈值相差5 J/cm2;使用长焦距透镜聚焦时,在单模激光脉冲和多模激光脉冲幅照下薄膜的损伤阈值基本相同,但比使用短焦距单模激光测量到的损伤阈值高.
채용단횡모(TEM01)화다모횡향격려고기압(TEA)맥충이양화탄격광기화불동초거적투경대10.6μm적증투막진행료파배실험,대파배양품진행료현미분석,연구료불동격광모식화불동초거투경대박막파배적영향.실험결과표명,재단초거투경취초시,상동능량밀도적단횡모격광맥충초거전비초거후경용역조성박막적손상,파배역치상차5 J/cm2;사용장초거투경취초시,재단모격광맥충화다모격광맥충폭조하박막적손상역치기본상동,단비사용단초거단모격광측량도적손상역치고.