金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2007年
10期
1043-1047
,共5页
黄辉%朱明伟%宫骏%孙超%姜辛
黃輝%硃明偉%宮駿%孫超%薑辛
황휘%주명위%궁준%손초%강신
溶剂%溶胶稳定剂%热处理%择优取向
溶劑%溶膠穩定劑%熱處理%擇優取嚮
용제%용효은정제%열처리%택우취향
采用溶胶-凝胶法,通过调整溶剂、溶胶稳定剂和热处理工艺在玻璃片上制备出不同工艺参数的ZnO薄膜.利用XRD和SEM考察了ZnO薄膜的择优取向和表面形貌.实验结果表明:采用高沸点溶剂时ZnO薄膜择优取向更强;单乙醇胺为稳定剂时ZnO薄膜择优取向很强,而二乙醇胺或三乙醇胺为稳定剂时择优取向微弱;预处理温度高于ZnO凝胶膜晶化开始温度时择优取向将减弱;最终处理温度在500 ℃以下时,随温度提高,晶粒尺寸增大,择优取向增强.
採用溶膠-凝膠法,通過調整溶劑、溶膠穩定劑和熱處理工藝在玻璃片上製備齣不同工藝參數的ZnO薄膜.利用XRD和SEM攷察瞭ZnO薄膜的擇優取嚮和錶麵形貌.實驗結果錶明:採用高沸點溶劑時ZnO薄膜擇優取嚮更彊;單乙醇胺為穩定劑時ZnO薄膜擇優取嚮很彊,而二乙醇胺或三乙醇胺為穩定劑時擇優取嚮微弱;預處理溫度高于ZnO凝膠膜晶化開始溫度時擇優取嚮將減弱;最終處理溫度在500 ℃以下時,隨溫度提高,晶粒呎吋增大,擇優取嚮增彊.
채용용효-응효법,통과조정용제、용효은정제화열처리공예재파리편상제비출불동공예삼수적ZnO박막.이용XRD화SEM고찰료ZnO박막적택우취향화표면형모.실험결과표명:채용고비점용제시ZnO박막택우취향경강;단을순알위은정제시ZnO박막택우취향흔강,이이을순알혹삼을순알위은정제시택우취향미약;예처리온도고우ZnO응효막정화개시온도시택우취향장감약;최종처리온도재500 ℃이하시,수온도제고,정립척촌증대,택우취향증강.
