哈尔滨工程大学学报
哈爾濱工程大學學報
합이빈공정대학학보
JOURNAL OF HARBIN ENGINEERING UNIVERSITY
2007年
10期
1182-1187
,共6页
王政平%张锡芳%王晓忠%张艳娥%王丽会
王政平%張錫芳%王曉忠%張豔娥%王麗會
왕정평%장석방%왕효충%장염아%왕려회
表面粗糙度%琼斯矩阵%偏振干涉%He-Ne激光器
錶麵粗糙度%瓊斯矩陣%偏振榦涉%He-Ne激光器
표면조조도%경사구진%편진간섭%He-Ne격광기
近年来,对精加工表面质量的要求日益增高,使得表面粗糙度的测量具有越来越重要的地位.提出了一种新颖的,利用光的干涉原理测量光滑物体表面粗糙度的方法.该光路使用一个半波片改变一路光束的偏振态,避免了以前广泛使用的类似测量系统中光路具有可逆性的问题,保证了系统的稳定性.使用一个1/4波片使接收端的光束的偏振态方向一致,使干涉信号最强.采用两光束共光路、同心聚焦扫描方法可实现表面粗糙度的绝对测量.通过对一标准量块的测量验证了方案的可行性,结果表明该系统在实验室现有条件下可以测量轮廓算术平均偏差Ra为0.012 μm的粗糙度量块.
近年來,對精加工錶麵質量的要求日益增高,使得錶麵粗糙度的測量具有越來越重要的地位.提齣瞭一種新穎的,利用光的榦涉原理測量光滑物體錶麵粗糙度的方法.該光路使用一箇半波片改變一路光束的偏振態,避免瞭以前廣汎使用的類似測量繫統中光路具有可逆性的問題,保證瞭繫統的穩定性.使用一箇1/4波片使接收耑的光束的偏振態方嚮一緻,使榦涉信號最彊.採用兩光束共光路、同心聚焦掃描方法可實現錶麵粗糙度的絕對測量.通過對一標準量塊的測量驗證瞭方案的可行性,結果錶明該繫統在實驗室現有條件下可以測量輪廓算術平均偏差Ra為0.012 μm的粗糙度量塊.
근년래,대정가공표면질량적요구일익증고,사득표면조조도적측량구유월래월중요적지위.제출료일충신영적,이용광적간섭원리측량광활물체표면조조도적방법.해광로사용일개반파편개변일로광속적편진태,피면료이전엄범사용적유사측량계통중광로구유가역성적문제,보증료계통적은정성.사용일개1/4파편사접수단적광속적편진태방향일치,사간섭신호최강.채용량광속공광로、동심취초소묘방법가실현표면조조도적절대측량.통과대일표준량괴적측량험증료방안적가행성,결과표명해계통재실험실현유조건하가이측량륜곽산술평균편차Ra위0.012 μm적조조도량괴.
