电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2007年
10期
54-56
,共3页
李华平%柴广跃%彭文达%刘文%牛憨笨
李華平%柴廣躍%彭文達%劉文%牛憨笨
리화평%시엄약%팽문체%류문%우감분
无机非金属材料%AlN薄膜%LED封装%有限元法
無機非金屬材料%AlN薄膜%LED封裝%有限元法
무궤비금속재료%AlN박막%LED봉장%유한원법
利用磁控溅射系统在6061铝材上制备了3 μm的AlN薄膜.XRD、椭偏测试及耐压测试结果表明,AlN膜为具有良好取向的多晶薄膜,击穿电压高达100 V/μm.利用自动划痕仪对AlN膜进行剥离实验,临界载荷为6 N左右.AlN和铝基体间的结合主要是物理吸附和机械锚合.用有限元方法对基于AlN膜/Al热沉的LED(发光二极管)封装结构的散热性能进行了分析,模型的内通道热阻约2 K/W.
利用磁控濺射繫統在6061鋁材上製備瞭3 μm的AlN薄膜.XRD、橢偏測試及耐壓測試結果錶明,AlN膜為具有良好取嚮的多晶薄膜,擊穿電壓高達100 V/μm.利用自動劃痕儀對AlN膜進行剝離實驗,臨界載荷為6 N左右.AlN和鋁基體間的結閤主要是物理吸附和機械錨閤.用有限元方法對基于AlN膜/Al熱沉的LED(髮光二極管)封裝結構的散熱性能進行瞭分析,模型的內通道熱阻約2 K/W.
이용자공천사계통재6061려재상제비료3 μm적AlN박막.XRD、타편측시급내압측시결과표명,AlN막위구유량호취향적다정박막,격천전압고체100 V/μm.이용자동화흔의대AlN막진행박리실험,림계재하위6 N좌우.AlN화려기체간적결합주요시물리흡부화궤계묘합.용유한원방법대기우AlN막/Al열침적LED(발광이겁관)봉장결구적산열성능진행료분석,모형적내통도열조약2 K/W.
