材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2007年
3期
115-118
,共4页
李军%兰伟%张铭%董国波%严辉
李軍%蘭偉%張銘%董國波%嚴輝
리군%란위%장명%동국파%엄휘
透明导电氧化物(TCO)%p型TCO%CuAlO2薄膜
透明導電氧化物(TCO)%p型TCO%CuAlO2薄膜
투명도전양화물(TCO)%p형TCO%CuAlO2박막
透明导电氧化物(TCO)的出现开拓了光电子器件研究的新领域.但p型TCO的相对匮乏严重制约了透明氧化物半导体(TOS)相关器件的开发与应用.CuAlO2作为一种天然的p型TCO成为近年来p型TCO的研究热点.介绍了p型TCO的研究现状,综述了不同制备方法制备p型CuAlO2薄膜的研究进展,以及在器件方面的应用,并对其前景进行了展望.
透明導電氧化物(TCO)的齣現開拓瞭光電子器件研究的新領域.但p型TCO的相對匱乏嚴重製約瞭透明氧化物半導體(TOS)相關器件的開髮與應用.CuAlO2作為一種天然的p型TCO成為近年來p型TCO的研究熱點.介紹瞭p型TCO的研究現狀,綜述瞭不同製備方法製備p型CuAlO2薄膜的研究進展,以及在器件方麵的應用,併對其前景進行瞭展望.
투명도전양화물(TCO)적출현개탁료광전자기건연구적신영역.단p형TCO적상대궤핍엄중제약료투명양화물반도체(TOS)상관기건적개발여응용.CuAlO2작위일충천연적p형TCO성위근년래p형TCO적연구열점.개소료p형TCO적연구현상,종술료불동제비방법제비p형CuAlO2박막적연구진전,이급재기건방면적응용,병대기전경진행료전망.
