无机材料学报
無機材料學報
무궤재료학보
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS
2007年
1期
15-20
,共6页
Czochralski法%砷化镓熔体%流动转换%斜压不稳定性
Czochralski法%砷化鎵鎔體%流動轉換%斜壓不穩定性
Czochralski법%신화가용체%류동전환%사압불은정성
考虑浮力、热毛细力、离心力和科里奥利力的情况下,对CZ法砷化镓单晶生长中熔体流动和传热建立了三维时相关紊流数学模型.通过数值求解预测到了熔体中流动状态的转变.结果表明,熔体中温度梯度驱动的浮力与热毛细力的联合作用和晶体旋转产生的离心力与科里奥利力的联合作用相匹配时,熔体流动为非轴对称流动;当其中一方占优势时,熔体流动为轴对称流动.流动为非轴对称流动时,熔体中出现斜压热流体波.由轴对称流动转变为非轴对称流动的机制为斜压不稳定性.得到了能描述不同条件下熔体流动状态的流动区域图.数值结果对优质砷化镓单晶生长具有重要的参考价值.
攷慮浮力、熱毛細力、離心力和科裏奧利力的情況下,對CZ法砷化鎵單晶生長中鎔體流動和傳熱建立瞭三維時相關紊流數學模型.通過數值求解預測到瞭鎔體中流動狀態的轉變.結果錶明,鎔體中溫度梯度驅動的浮力與熱毛細力的聯閤作用和晶體鏇轉產生的離心力與科裏奧利力的聯閤作用相匹配時,鎔體流動為非軸對稱流動;噹其中一方佔優勢時,鎔體流動為軸對稱流動.流動為非軸對稱流動時,鎔體中齣現斜壓熱流體波.由軸對稱流動轉變為非軸對稱流動的機製為斜壓不穩定性.得到瞭能描述不同條件下鎔體流動狀態的流動區域圖.數值結果對優質砷化鎵單晶生長具有重要的參攷價值.
고필부력、열모세력、리심력화과리오리력적정황하,대CZ법신화가단정생장중용체류동화전열건립료삼유시상관문류수학모형.통과수치구해예측도료용체중류동상태적전변.결과표명,용체중온도제도구동적부력여열모세력적연합작용화정체선전산생적리심력여과리오리력적연합작용상필배시,용체류동위비축대칭류동;당기중일방점우세시,용체류동위축대칭류동.류동위비축대칭류동시,용체중출현사압열류체파.유축대칭류동전변위비축대칭류동적궤제위사압불은정성.득도료능묘술불동조건하용체류동상태적류동구역도.수치결과대우질신화가단정생장구유중요적삼고개치.
