发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2002年
6期
623-626
,共4页
贾克辉%徐颖%高劲松%曹健林
賈剋輝%徐穎%高勁鬆%曹健林
가극휘%서영%고경송%조건림
等离子辅助沉积技术%光学镀膜
等離子輔助沉積技術%光學鍍膜
등리자보조침적기술%광학도막
传统的电子束蒸发工艺提供了高速率的沉积,但由于成膜分子的能量较低,使沉积的薄膜排列密度很低,其性能和块状材料区别很大,已有不少学者发现了很多金属和氧化物薄膜具有典型的柱状结构.薄膜的低排列密度造成了其光学常数和机械性能不如块状材料,近几年发展起来的高功率等离子体辅助镀膜技术解决了上述问题.本文报道了我国自己研制的等离子体源(GIS)的性能指标、用这个源所做的单层TiO2膜的成膜工艺与质量,以及用等离子辅助沉积的减反射膜的工艺.
傳統的電子束蒸髮工藝提供瞭高速率的沉積,但由于成膜分子的能量較低,使沉積的薄膜排列密度很低,其性能和塊狀材料區彆很大,已有不少學者髮現瞭很多金屬和氧化物薄膜具有典型的柱狀結構.薄膜的低排列密度造成瞭其光學常數和機械性能不如塊狀材料,近幾年髮展起來的高功率等離子體輔助鍍膜技術解決瞭上述問題.本文報道瞭我國自己研製的等離子體源(GIS)的性能指標、用這箇源所做的單層TiO2膜的成膜工藝與質量,以及用等離子輔助沉積的減反射膜的工藝.
전통적전자속증발공예제공료고속솔적침적,단유우성막분자적능량교저,사침적적박막배렬밀도흔저,기성능화괴상재료구별흔대,이유불소학자발현료흔다금속화양화물박막구유전형적주상결구.박막적저배렬밀도조성료기광학상수화궤계성능불여괴상재료,근궤년발전기래적고공솔등리자체보조도막기술해결료상술문제.본문보도료아국자기연제적등리자체원(GIS)적성능지표、용저개원소주적단층TiO2막적성막공예여질량,이급용등리자보조침적적감반사막적공예.
