CAJ | 학술논문

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电子科技大学学报 전자과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA
2006年 2期 261-263 ,共3页

杨健君%李军建%张有润%王军%林慧%饶海波%蒋泉%成建波

양건군%리군건%장유윤%왕군%림혜%요해파%장천%성건파

氧化铟锡%玻璃%有机发光二极管氧化銦錫%玻璃%有機髮光二極管
양화인석%파리%유궤발광이겁관

有机发光显示器件是目前平板显示中的热点,所用ITO玻璃比液晶显示所用的有更高更严的要求.该文探讨了OLED用ITO玻璃生产的相关工艺,得出使用直流溅射ITO陶瓷靶时,较好的气氛是低氩微氧,功率约200W左右,溅射时基板温度约250℃,高温无氧退火.得到方阻20 Ω以下、平均透过率大于80%的ITO玻璃.
유궤발광현시기건시목전평판현시중적열점,소용ITO파리비액정현시소용적유경고경엄적요구.해문탐토료OLED용ITO파리생산적상관공예,득출사용직류천사ITO도자파시,교호적기분시저아미양,공솔약200W좌우,천사시기판온도약250℃,고온무양퇴화.득도방조20 Ω이하、평균투과솔대우80%적ITO파리.