真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
z1期
93-96
,共4页
感应耦合等离子体%变压器模型%功率耦合效率
感應耦閤等離子體%變壓器模型%功率耦閤效率
감응우합등리자체%변압기모형%공솔우합효솔
基于变压器模型,本文对感应耦合等离子体中线圈产生的空间电场分布、等离子体电阻、电感及功率耦合效率等进行了数值计算.在计算过程中,考虑了低气压等离子体无碰撞随机加热机制的作用.结果表明,同心线圈的感应电场呈中空分布,径向和轴向均呈现很大的不均匀性;功率耦合效率随线圈品质因数Q及耦合系数K的增大而增大.功率耦合效率的理论分析和计算为线圈优化设计提供了依据.
基于變壓器模型,本文對感應耦閤等離子體中線圈產生的空間電場分佈、等離子體電阻、電感及功率耦閤效率等進行瞭數值計算.在計算過程中,攷慮瞭低氣壓等離子體無踫撞隨機加熱機製的作用.結果錶明,同心線圈的感應電場呈中空分佈,徑嚮和軸嚮均呈現很大的不均勻性;功率耦閤效率隨線圈品質因數Q及耦閤繫數K的增大而增大.功率耦閤效率的理論分析和計算為線圈優化設計提供瞭依據.
기우변압기모형,본문대감응우합등리자체중선권산생적공간전장분포、등리자체전조、전감급공솔우합효솔등진행료수치계산.재계산과정중,고필료저기압등리자체무팽당수궤가열궤제적작용.결과표명,동심선권적감응전장정중공분포,경향화축향균정현흔대적불균균성;공솔우합효솔수선권품질인수Q급우합계수K적증대이증대.공솔우합효솔적이론분석화계산위선권우화설계제공료의거.
