双材料微梁阵列非制冷红外成像技术--微梁阵列的设计与制作
쌍재료미량진렬비제랭홍외성상기술--미량진렬적설계여제작
Bimaterial Micro-Cantilever Uncooled Infrared Imaging System-- Design and Fabrication of Micro-Cantilever Array
  • 万方数据
    实验力学 실험역학
    JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS
    2005年 z1期 35-42 ,共8页

    董凤良%潘亮%张青川%伍小平%陈大鹏%王玮冰%郭哲颖

    동봉량%반량%장청천%오소평%진대붕%왕위빙%곽철영

    非制冷红外成像%光学读出%双材料微悬臂梁阵列 非製冷紅外成像%光學讀齣%雙材料微懸臂樑陣列
    비제랭홍외성상%광학독출%쌍재료미현비량진렬
    本文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件--微悬臂梁阵列的设计和制作,它是SiNx/Au双材料单层膜结构,简化制作工艺、可以直接在空气中成像.实验使用了设计制作的140 × 98微梁阵列和高信噪比的12-bit CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为5K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.
    본문급출료일충용우비제랭광학독출홍외탐측기적핵심기건--미현비량진렬적설계화제작,타시SiNx/Au쌍재료단층막결구,간화제작공예、가이직접재공기중성상.실험사용료설계제작적140 × 98미량진렬화고신조비적12-bit CCD,득도120℃이상적물체열상,조성등효온도차(NETD)위5K좌우,실험결과여열궤계모형예측결과일치.
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