淮北煤炭师范学院学报（自然科学版）
淮北煤炭師範學院學報（自然科學版）
회북매탄사범학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF HUAIBEI COAL INDUSTRY TEACHERS COLLEGE(NATURAL SCIENCE EDITION)
2006年
1期
16-21
,共6页
ZAO薄膜%电学性能%磁控溅射
ZAO薄膜%電學性能%磁控濺射
ZAO박막%전학성능%자공천사
ZnO:Al( ZAO)透明导电薄膜是一种 n型半导体,有高的载离子浓度和大的光学禁带宽度,具有优异的电学和光学性能,有极广的应用前景.本文介绍了 ZAO薄膜的广泛用途和今后研究的趋势,并着重分析了磁控溅射制备参数对电学性能的影响.
ZnO:Al( ZAO)透明導電薄膜是一種 n型半導體,有高的載離子濃度和大的光學禁帶寬度,具有優異的電學和光學性能,有極廣的應用前景.本文介紹瞭 ZAO薄膜的廣汎用途和今後研究的趨勢,併著重分析瞭磁控濺射製備參數對電學性能的影響.
ZnO:Al( ZAO)투명도전박막시일충 n형반도체,유고적재리자농도화대적광학금대관도,구유우이적전학화광학성능,유겁엄적응용전경.본문개소료 ZAO박막적엄범용도화금후연구적추세,병착중분석료자공천사제비삼수대전학성능적영향.
