射频微机械开关的计算机辅助设计
사빈미궤계개관적계산궤보조설계
Computer-Aided Design of RF-MEMS Switch
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2002年 9期 947-951 ,共5页

    魏华征%郭方敏%赖宗声%朱守正%朱自强%李小卫%程知群%孙晓玮

    위화정%곽방민%뢰종성%주수정%주자강%리소위%정지군%손효위

    并联电容式开关%微电子机械系统(MEMS)%共面波导%ADS软件%ANSYS软件 併聯電容式開關%微電子機械繫統(MEMS)%共麵波導%ADS軟件%ANSYS軟件
    병련전용식개관%미전자궤계계통(MEMS)%공면파도%ADS연건%ANSYS연건
    应用计算机辅助设计(CAD)方法模拟设计一种射频微机械(RF-MEMS)开关.用Agilent ADS软件模拟分析了共面波导的传输线损耗和MEMS开关的等效电路模型,并应用ANSYS软件模拟开关的驱动电压,得到了35GHz工作频率的并联电容式MEMS开关一些有意义的理论分析结果.
    응용계산궤보조설계(CAD)방법모의설계일충사빈미궤계(RF-MEMS)개관.용Agilent ADS연건모의분석료공면파도적전수선손모화MEMS개관적등효전로모형,병응용ANSYS연건모의개관적구동전압,득도료35GHz공작빈솔적병련전용식MEMS개관일사유의의적이론분석결과.
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