光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2004年
9期
1245-1248
,共4页
颜国君%陈光德%竹有章%邱复生%范朝阳
顏國君%陳光德%竹有章%邱複生%範朝暘
안국군%진광덕%죽유장%구복생%범조양
非线性光学%AlN薄膜%二次谐波%相位匹配%相位失配角宽度
非線性光學%AlN薄膜%二次諧波%相位匹配%相位失配角寬度
비선성광학%AlN박막%이차해파%상위필배%상위실배각관도
利用X射线衍射技术对用直流反应磁控溅射技术沉积在蓝宝石基底(100)晶面上的氮化铝(AlN)薄膜进行了晶体结构分析,对X射线衍射图样的分析结果表明:用该法沉积在蓝宝石基底(100)晶面上的AlN薄膜为单晶膜;利用脉宽为10 ns、重复频率10 Hz、最大平均功率为20 W、单脉冲的最大能量为2 J的Nd:YAG脉冲激光器对其进行了二次谐波产生的实验研究,对实验结果进行分析表明:沉积在蓝宝石基底(100)晶面上的AlN薄膜能在一个很宽的入射角度范围存在有效二次谐波的输出;且输出的二次谐波功率相对于AlN薄膜的表面法线成对称分布,这表明该AlN薄膜的表面法线方向即为AlN的光轴方向.
利用X射線衍射技術對用直流反應磁控濺射技術沉積在藍寶石基底(100)晶麵上的氮化鋁(AlN)薄膜進行瞭晶體結構分析,對X射線衍射圖樣的分析結果錶明:用該法沉積在藍寶石基底(100)晶麵上的AlN薄膜為單晶膜;利用脈寬為10 ns、重複頻率10 Hz、最大平均功率為20 W、單脈遲的最大能量為2 J的Nd:YAG脈遲激光器對其進行瞭二次諧波產生的實驗研究,對實驗結果進行分析錶明:沉積在藍寶石基底(100)晶麵上的AlN薄膜能在一箇很寬的入射角度範圍存在有效二次諧波的輸齣;且輸齣的二次諧波功率相對于AlN薄膜的錶麵法線成對稱分佈,這錶明該AlN薄膜的錶麵法線方嚮即為AlN的光軸方嚮.
이용X사선연사기술대용직류반응자공천사기술침적재람보석기저(100)정면상적담화려(AlN)박막진행료정체결구분석,대X사선연사도양적분석결과표명:용해법침적재람보석기저(100)정면상적AlN박막위단정막;이용맥관위10 ns、중복빈솔10 Hz、최대평균공솔위20 W、단맥충적최대능량위2 J적Nd:YAG맥충격광기대기진행료이차해파산생적실험연구,대실험결과진행분석표명:침적재람보석기저(100)정면상적AlN박막능재일개흔관적입사각도범위존재유효이차해파적수출;차수출적이차해파공솔상대우AlN박막적표면법선성대칭분포,저표명해AlN박막적표면법선방향즉위AlN적광축방향.
