微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2002年
6期
416-418
,共3页
纳米结构%单电子晶体管%量子线%量子点
納米結構%單電子晶體管%量子線%量子點
납미결구%단전자정체관%양자선%양자점
介绍了用电子束光刻、反应离子刻蚀方法制备硅量子线、量子点的工艺方法;采用这种工 艺在P型SIMOX(separation by implanted oxygen)硅片上成功地制造出一种单电子晶体管.
介紹瞭用電子束光刻、反應離子刻蝕方法製備硅量子線、量子點的工藝方法;採用這種工 藝在P型SIMOX(separation by implanted oxygen)硅片上成功地製造齣一種單電子晶體管.
개소료용전자속광각、반응리자각식방법제비규양자선、양자점적공예방법;채용저충공 예재P형SIMOX(separation by implanted oxygen)규편상성공지제조출일충단전자정체관.
