核聚变与等离子体物理
覈聚變與等離子體物理
핵취변여등리자체물리
NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
2004年
1期
63-66
,共4页
ECR-PECVD%射频偏置%双探针%电子温度%等离子体密度
ECR-PECVD%射頻偏置%雙探針%電子溫度%等離子體密度
ECR-PECVD%사빈편치%쌍탐침%전자온도%등리자체밀도
利用双探针对ECR-PECVD装置中基片在射频偏置下的等离子体参数进行了测量.同时测量了在射频偏置下微波功率、磁场电流、进气量等参数对ECR-PECVD等离子体参数的影响.结果表明,在ECR-PECVD等离子体装置中,基片射频偏置对电子温度有影响,而等离子体密度主要由微波功率所决定.
利用雙探針對ECR-PECVD裝置中基片在射頻偏置下的等離子體參數進行瞭測量.同時測量瞭在射頻偏置下微波功率、磁場電流、進氣量等參數對ECR-PECVD等離子體參數的影響.結果錶明,在ECR-PECVD等離子體裝置中,基片射頻偏置對電子溫度有影響,而等離子體密度主要由微波功率所決定.
이용쌍탐침대ECR-PECVD장치중기편재사빈편치하적등리자체삼수진행료측량.동시측량료재사빈편치하미파공솔、자장전류、진기량등삼수대ECR-PECVD등리자체삼수적영향.결과표명,재ECR-PECVD등리자체장치중,기편사빈편치대전자온도유영향,이등리자체밀도주요유미파공솔소결정.
