直拉法单晶制造中的直径检测技术
직랍법단정제조중적직경검측기술
Technology of measureing diameter in the Czochralski pulling
  • 万方数据
    半导体技术 반도체기술
    SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
    2003年 3期 25-27,31 ,共4页

    田达晰%蒋科坚

    전체석%장과견

    直拉法%自动直径控制%Ircon 直拉法%自動直徑控製%Ircon
    직랍법%자동직경공제%Ircon
    自动直径控制(ADC)是直拉法单晶制造中的重要环节.本文详细介绍了直拉单晶的直径检测技术,分析其性能差异,对目前单晶炉设备的设计制造有参考作用.
    자동직경공제(ADC)시직랍법단정제조중적중요배절.본문상세개소료직랍단정적직경검측기술,분석기성능차이,대목전단정로설비적설계제조유삼고작용.
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